เอฟเอสไอได้รับคำสั่งซื้อระบบฉีดพ่นทำความสะอาด “ซีต้า” อย่างต่อเนื่องจากโรงหลอมโลหะในภูมิภาคเอเชีย

มินนีอาโปลิส–(บิสิเนส ไวร์)–8 มี.ค. 2548 – เอฟเอสไอ อินเตอร์เนชันแนล อิงค์ (Nasdaq:FSII) ประกาศในวันนี้ว่า บริษัทยังคงได้รับการยอมรับอย่างแข็งแกร่งสำหรับเทคโนโลยีการทำความสะอาดด้วยการฉีดพ่นในภูมิภาคเอเชีย โดยมีหลักฐานบ่งชี้จากการสั่งซื้อเพิ่มขึ้น สำหรับระบบซีต้าซึ่งเป็นระบบการทำความสะอาดด้วยการฉีดพ่น (ZETA(R) Spray Cleaning System) จากลูกค้าที่ดำเนินธุรกิจโรงหลอมโลหะรายหนึ่งในภูมิภาคเอเชีย

ลูกค้ารายนี้ได้เลือกใช้ระบบซีต้าอีกครั้ง อันเนื่องมาจากขีดความสามารถในด้านกระบวนการทำงานและความต้องการพื้นที่ใช้สอยขนาดเล็ก นอกจากนี้ ระบบซีต้ายังได้รับการตัดสินว่ามีประสิทธิภาพเหนือเทคโนโลยีของคู่แข่ง เนื่องจากมีประสิทธิภาพในการกำจัดอณูที่เล็กที่สุดในการทดสอบการทำงานบนแผ่นเวเฟอร์ โดยเอฟเอสไอได้รับคำสั่งซื้อระบบซีต้าสำหรับไตรมาส 2 ของปีงบการเงิน และมีกำหนดส่งมอบเครื่องมือดังกล่าวในช่วงสิ้นปีงบการเงิน

นายดอน มิทเชลล์ ประธานและซีอีโอของเอฟเอสไอกล่าวว่า “ประโยชน์มหาศาลของเครื่องมือนี้ทำให้มันเหมาะสมที่สุดสำหรับโรงหลอมโลหะซึ่งเป็นต้นแบบของส่วนผสมผลิตภัณฑ์ (product mix) และการมีต้นทุนต่ำในการผลิตเป็นสิ่งที่สำคัญต่อความสำเร็จ”

“เนื่องจากมีความสนใจสูงจากโรงหลอมโลหะในภูมิภาคเอเชีย ขณะนี้เรามีการติดตั้งระบบซีต้าราว
45 % ในภูมิภาคเอเชีย เนื่องจากประสบการณ์ครั้งก่อนที่ได้จากเอฟเอสไอนั้น ลูกค้ารายนี้จึงมีความเชื่อมั่นในเทคโนโลยีการทำความสะอาดด้วยการฉีดพ่นของเรา รวมถึงกระบวนการทำงานและองค์กรสนับสนุนด้านบริการของเอฟเอสไอในภูมิภาคเอเชีย” นายมิทเชลล์กล่าว

บรรดาโรงหลอมโลหะมุ่งเน้นด้านการลดต้นทุนการผลิตโดยพิจารณาประเด็นต่างๆ อาทิ ค่าใช้จ่ายด้านทุน, ความพร้อมใช้งานของระบบ, ค่าใช้จ่ายด้านเคมีภัณฑ์ และการผลิต

ระบบซีต้าสามารถสนองตอบต่อความต้องการเหล่านี้โดยเสนอขีดความสามารถในการขยายไปสู่ระบบเทคโนโลยีในอนาคต, ความพร้อมของระบบที่เหนือกว่าคู่แข่งอย่างมาก, การใช้สารเคมีในระดับต่ำระหว่างกระบวนการทำงาน, ไม่มีการใช้สารเคมีขณะอยู่ในโหมดที่ไม่ได้ทำงาน (ซึ่งเป็นสิ่งที่สำคัญมากเมื่อจัดการกับความผันผวนของการใช้งาน) และการผลิตซึ่งเทียบเท่าหรือเหนือกว่าคู่แข่ง

ระบบทำความสะอาดแบบฉีดพ่นซีต้าของเอฟเอสไอรวมถึง รูปแบบระบบการทำงานโดยอัตโนมัติสำหรับเวเฟอร์ขนาด 200 และ 300 มิลลิเมตร และกึ่งอัตโนมัติสำหรับเวเฟอร์ขนาด 200 และ 150 มิลลิเมตร

ระบบซีต้าได้รับการพิสูจน์แล้วว่าเหมาะสมกับระบบการทำงานที่หลากหลาย ซึ่งรวมถึงระบบทำความสะอาดแบบ front-end-of-line (FEOL) resist strip และ post-ash clean, ระบบ back-end-of-line (BEOL) post-ash clean, ระบบ salicide strip, ระบบ wafer bumping และ wafer reclaim

ระบบซีต้าใช้เทคโนโลยีการฉีดพ่นจากศูนย์กลาง, เวเฟอร์จะผ่านกระบวนการเป่าแห้งในช่องชำระล้างไนโตรเจรแบบปิด โดยเทคโนโลยีการส่งสารเคมีของเอฟเอสไอจะเตรียมสารเคมีด้วยองค์ประกอบและอุณหภูมิที่มีการควบคุม และส่งสารเคมีโดยตรงไปบนแผ่นเวเฟอร์ โดยระบบซีต้านั้นมีราคาตั้งแต่ 1-2.8 ล้านดอลลาร์สหรัฐฯ

เอฟเอสไอ อินเตอร์เนชันแนล อิงค์ เป็นบริษัทซัพพลายเออร์ชั้นนำระดับโลกด้านเทคโนโลยีอุปกรณ์ปรับสภาพพื้นผิวและบริการด้านการสนับสนุนสำหรับการผลิตไมโครอิเล็คทรอนิคส์ ด้วยการใช้กลุ่มผลิตภัณฑ์ทำความสะอาดที่หลากหลายของบริษัทซึ่งได้แก่ระบบการทำงานบนเวเฟอร์แบบเดี่ยวและเป็นชุดสำหรับเทคโนโลยีการแช่, การฉีดพ่น, ไอน้ำ และ CryoKinetic นั้น จะทำให้ลูกค้าบรรลุเป้าหมายในด้านประสิทธิภาพของกระบวนการทำงาน, ความยืดหยุ่น และประสิทธิภาพการผลิต

โครงการบริการด้านการสนับสนุนของบริษัทจะทำการส่งเสริมผลิตภัณฑ์และกระบวนการทำงานเพื่อยืดอายุการใช้งานอุปกรณ์ของเอฟเอสไอเพื่อให้ลูกค้าทั่วโลกได้รับผลตอบแทนการลงทุนที่สูงขึ้น

เว็บไซต์ของเอฟเอสไอ: www.fsi-intl.com

ติดต่อ: เอฟเอสไอ อินเตอร์เนชันแนล อิงค์, มินนีอาโปลิส
สื่อการค้า
ลอรี วอล์คเกอร์, โทร 952-448-8066
หรือ
สื่อการเงินและนักลงทุน:
เบนโน แซนด์, โทร 952-448-8936