{"id":27323,"date":"2006-01-19T00:00:00","date_gmt":"2006-01-19T00:00:00","guid":{"rendered":"http:\/\/positioningmag.com\/?p=27323"},"modified":"2006-01-19T00:00:00","modified_gmt":"2006-01-19T00:00:00","slug":"%E0%B8%AE%E0%B8%B4%E0%B8%95%E0%B8%B2%E0%B8%8A%E0%B8%B4-%E0%B9%80%E0%B8%84%E0%B8%A1%E0%B8%B5%E0%B8%84%E0%B8%AD%E0%B8%A5-%E0%B8%9B%E0%B8%A3%E0%B8%B0%E0%B8%81%E0%B8%B2%E0%B8%A8%E0%B8%AA%E0%B8%B4%E0%B8%97","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/positioningmag.com\/27323","title":{"rendered":"\u0e2e\u0e34\u0e15\u0e32\u0e0a\u0e34 \u0e40\u0e04\u0e21\u0e35\u0e04\u0e2d\u0e25 \u0e1b\u0e23\u0e30\u0e01\u0e32\u0e28\u0e2a\u0e34\u0e17\u0e18\u0e34\u0e1a\u0e31\u0e15\u0e23\u0e1e\u0e37\u0e49\u0e19\u0e10\u0e32\u0e19\u0e2a\u0e32\u0e23\u0e40\u0e2b\u0e25\u0e27 CMP Slurry \u0e17\u0e35\u0e48\u0e21\u0e35\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e2a\u0e34\u0e17\u0e18\u0e34\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c"},"content":{"rendered":"<div class=\"field-items\">\n<div class=\"field-item even\" property=\"content:encoded\">\n<p>\u0e42\u0e15\u0e40\u0e01\u0e35\u0e22\u0e27&#8211;(\u0e1a\u0e34\u0e2a\u0e34\u0e40\u0e19\u0e2a\u0e44\u0e27\u0e23\u0e4c)&#8212; \u0e1a\u0e23\u0e34\u0e29\u0e31\u0e17\u0e2e\u0e34\u0e15\u0e32\u0e0a\u0e34 \u0e40\u0e04\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e25 \u0e08\u0e33\u0e01\u0e31\u0e14 (\u0e42\u0e15\u0e40\u0e01\u0e35\u0e22\u0e27:4217) (\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e18\u0e32\u0e19\u0e41\u0e25\u0e30\u0e0b\u0e35\u0e2d\u0e35\u0e42\u0e2d: \u0e22\u0e32\u0e0b\u0e39\u0e08\u0e34 \u0e19\u0e32\u0e01\u0e32\u0e40\u0e2a\u0e30; 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CMP<\/p>\n<p>CMP \u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e02\u0e31\u0e14\u0e16\u0e39\u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e17\u0e33\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e1c\u0e34\u0e27\u0e2b\u0e19\u0e49\u0e32\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e41\u0e1c\u0e48\u0e19\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e21\u0e35\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e40\u0e23\u0e35\u0e22\u0e1a (\u0e0a\u0e31\u0e49\u0e19\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19 \u0e2d\u0e47\u0e2d\u0e01\u0e44\u0e0b\u0e14\u0e4c, \u0e1f\u0e34\u0e25\u0e4c\u0e21\u0e09\u0e19\u0e27\u0e19\u0e23\u0e30\u0e2b\u0e27\u0e48\u0e32\u0e07\u0e0a\u0e31\u0e49\u0e19, \u0e0a\u0e31\u0e49\u0e19\u0e25\u0e27\u0e14\u0e42\u0e25\u0e2b\u0e30 \u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e15\u0e49\u0e19) 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\u0e41\u0e25\u0e30\u0e21\u0e35\u0e23\u0e2d\u0e22\u0e02\u0e35\u0e14\u0e02\u0e48\u0e27\u0e19\u0e19\u0e49\u0e2d\u0e22\u0e25\u0e07\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e2a\u0e34\u0e17\u0e18\u0e34\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e41\u0e25\u0e30\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e19\u0e48\u0e32\u0e40\u0e0a\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e16\u0e37\u0e2d\u0e17\u0e35\u0e48\u0e14\u0e35\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19\u0e43\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e41\u0e1c\u0e07\u0e27\u0e07\u0e08\u0e23\u0e23\u0e27\u0e21\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e40\u0e23\u0e47\u0e27\u0e2a\u0e39\u0e07<\/p>\n<p>\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e22\u0e38\u0e01\u0e15\u0e4c\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e40\u0e17\u0e04\u0e42\u0e19\u0e42\u0e25\u0e22\u0e35\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e40\u0e0b\u0e23\u0e32\u0e21\u0e34\u0e04\u0e08\u0e32\u0e01\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e2a\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2a\u0e31\u0e48\u0e07\u0e2a\u0e21\u0e21\u0e32\u0e2b\u0e25\u0e32\u0e22\u0e1b\u0e35\u0e19\u0e31\u0e49\u0e19 \u0e2e\u0e34\u0e15\u0e32\u0e0a\u0e34 \u0e40\u0e04\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e25\u0e44\u0e14\u0e49\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e2a\u0e1a\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e33\u0e40\u0e23\u0e47\u0e08\u0e43\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1e\u0e31\u0e12\u0e19\u0e32\u0e2a\u0e32\u0e23\u0e40\u0e2b\u0e25\u0e27 CMP Slurry \u0e17\u0e35\u0e48\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e01\u0e2d\u0e1a\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e2d\u0e19\u0e38\u0e20\u0e32\u0e04\u0e2a\u0e32\u0e23\u0e02\u0e31\u0e14\u0e16\u0e39\u0e0b\u0e35\u0e40\u0e23\u0e35\u0e22\u0e21 \u0e2d\u0e47\u0e2d\u0e01\u0e44\u0e0b\u0e14\u0e4c \u0e0b\u0e36\u0e48\u0e07\u0e08\u0e30\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e2d\u0e31\u0e15\u0e23\u0e32\u0e01\u0e32\u0e23\u0e02\u0e08\u0e31\u0e14\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e01\u0e32\u0e23\u0e02\u0e31\u0e14\u0e16\u0e39\u0e43\u0e19\u0e23\u0e30\u0e14\u0e31\u0e1a\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e41\u0e25\u0e30\u0e40\u0e01\u0e34\u0e14\u0e23\u0e2d\u0e22\u0e02\u0e35\u0e14\u0e02\u0e48\u0e27\u0e19\u0e19\u0e49\u0e2d\u0e22\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2a\u0e38\u0e14 \u0e42\u0e14\u0e22\u0e2d\u0e19\u0e38\u0e20\u0e32\u0e04\u0e0b\u0e35\u0e40\u0e23\u0e35\u0e22\u0e21 \u0e2d\u0e47\u0e2d\u0e01\u0e44\u0e0b\u0e14\u0e4c\u0e43\u0e19\u0e2a\u0e32\u0e23\u0e40\u0e2b\u0e25\u0e27 CMP slurry \u0e19\u0e31\u0e49\u0e19\u0e21\u0e35\u0e02\u0e2d\u0e1a\u0e40\u0e02\u0e15\u0e01\u0e32\u0e23\u0e15\u0e01\u0e1c\u0e25\u0e36\u0e01\u0e02\u0e2d\u0e07 crystalline grain \u0e0b\u0e36\u0e48\u0e07\u0e08\u0e30\u0e41\u0e15\u0e01\u0e2a\u0e25\u0e32\u0e22\u0e20\u0e32\u0e22\u0e43\u0e15\u0e49\u0e41\u0e23\u0e07\u0e01\u0e14\u0e14\u0e31\u0e19\u0e43\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e02\u0e31\u0e14\u0e41\u0e25\u0e30\u0e08\u0e30\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e1e\u0e37\u0e49\u0e19\u0e1c\u0e34\u0e27\u0e43\u0e2b\u0e21\u0e48\u0e0b\u0e36\u0e48\u0e07\u0e1e\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e21\u0e08\u0e30\u0e21\u0e35\u0e1b\u0e0f\u0e34\u0e01\u0e34\u0e23\u0e34\u0e22\u0e32\u0e17\u0e32\u0e07\u0e40\u0e04\u0e21\u0e35\u0e01\u0e31\u0e1a\u0e0a\u0e31\u0e49\u0e19\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19 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\u0e2d\u0e47\u0e2d\u0e01\u0e44\u0e0b\u0e14\u0e4c\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e40\u0e20\u0e17\u0e19\u0e35\u0e49\u0e08\u0e30\u0e17\u0e33\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e23\u0e2d\u0e22\u0e02\u0e35\u0e14\u0e02\u0e48\u0e27\u0e19\u0e08\u0e32\u0e01\u0e01\u0e32\u0e23\u0e02\u0e31\u0e14\u0e16\u0e39\u0e40\u0e01\u0e34\u0e14\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19\u0e19\u0e49\u0e2d\u0e22\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2a\u0e38\u0e14\u0e02\u0e13\u0e30\u0e17\u0e35\u0e48\u0e40\u0e1e\u0e34\u0e48\u0e21\u0e2d\u0e31\u0e15\u0e23\u0e32\u0e01\u0e32\u0e23\u0e02\u0e08\u0e31\u0e14\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e01\u0e32\u0e23\u0e02\u0e31\u0e14\u0e16\u0e39<\/p>\n<p>\u0e40\u0e23\u0e32\u0e44\u0e14\u0e49\u0e41\u0e08\u0e49\u0e07\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e1a\u0e23\u0e34\u0e29\u0e31\u0e17\u0e04\u0e39\u0e48\u0e04\u0e49\u0e32\u0e15\u0e48\u0e32\u0e07\u0e0a\u0e32\u0e15\u0e34\u0e43\u0e19\u0e2a\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e10\u0e41\u0e25\u0e30\u0e43\u0e19\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e40\u0e17\u0e28\u0e41\u0e16\u0e1a\u0e22\u0e38\u0e42\u0e23\u0e1b\u0e41\u0e25\u0e30\u0e40\u0e2d\u0e40\u0e0a\u0e35\u0e22\u0e40\u0e1e\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e21\u0e35\u0e01\u0e32\u0e23\u0e04\u0e38\u0e49\u0e21\u0e04\u0e23\u0e2d\u0e07\u0e14\u0e49\u0e32\u0e19\u0e2a\u0e34\u0e17\u0e18\u0e34\u0e1a\u0e31\u0e15\u0e23\u0e17\u0e31\u0e48\u0e27\u0e42\u0e25\u0e01\u0e41\u0e25\u0e30\u0e40\u0e1e\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e41\u0e15\u0e01\u0e15\u0e48\u0e32\u0e07\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e01\u0e31\u0e1a\u0e40\u0e17\u0e04\u0e42\u0e19\u0e42\u0e25\u0e22\u0e35\u0e17\u0e35\u0e48\u0e42\u0e14\u0e14\u0e40\u0e14\u0e48\u0e19\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e40\u0e23\u0e32\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e2a\u0e32\u0e23\u0e40\u0e2b\u0e25\u0e27 CMP Slurry \u0e1a\u0e19\u0e1e\u0e37\u0e49\u0e19\u0e10\u0e32\u0e19\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e2d\u0e19\u0e38\u0e20\u0e32\u0e04\u0e0b\u0e35\u0e40\u0e23\u0e35\u0e22\u0e21\u0e2d\u0e47\u0e2d\u0e01\u0e44\u0e0b\u0e14\u0e4c\u0e41\u0e1a\u0e1a self-activated \u0e0b\u0e36\u0e48\u0e07\u0e44\u0e14\u0e49\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1e\u0e31\u0e12\u0e19\u0e32\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19\u0e40\u0e21\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e44\u0e21\u0e48\u0e19\u0e32\u0e19\u0e21\u0e32\u0e19\u0e35\u0e49 \u0e40\u0e23\u0e32\u0e21\u0e38\u0e48\u0e07\u0e21\u0e31\u0e48\u0e19\u0e17\u0e35\u0e48\u0e08\u0e30\u0e15\u0e2d\u0e01\u0e22\u0e49\u0e33\u0e16\u0e36\u0e07\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e44\u0e14\u0e49\u0e40\u0e1b\u0e23\u0e35\u0e22\u0e1a\u0e43\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e41\u0e02\u0e48\u0e07\u0e02\u0e31\u0e19\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e40\u0e23\u0e32\u0e43\u0e19\u0e14\u0e49\u0e32\u0e19\u0e17\u0e23\u0e31\u0e1e\u0e22\u0e4c\u0e2a\u0e34\u0e19\u0e17\u0e32\u0e07\u0e1b\u0e31\u0e0d\u0e0d\u0e32 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\u0e2b\u0e21\u0e37\u0e48\u0e19\u0e25\u0e49\u0e32\u0e19\u0e40\u0e22\u0e19) \u0e44\u0e14\u0e49\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e2a\u0e34\u0e17\u0e18\u0e34\u0e1a\u0e31\u0e15\u0e23\u0e1e\u0e37\u0e49\u0e19\u0e10\u0e32\u0e19\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e2a\u0e32\u0e23\u0e40\u0e2b\u0e25\u0e27 (slurry) \u0e43\u0e19\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23 Chemical Mechanical Planarization (CMP) \u0e42\u0e14\u0e22\u0e2a\u0e32\u0e23\u0e40\u0e2b\u0e25\u0e27\u0e14\u0e31\u0e07\u0e01\u0e25\u0e48\u0e32\u0e27\u0e2d\u0e22\u0e39\u0e48\u0e1a\u0e19\u0e1e\u0e37\u0e49\u0e19\u0e10\u0e32\u0e19\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e2d\u0e19\u0e38\u0e20\u0e32\u0e04\u0e0b\u0e35\u0e40\u0e23\u0e35\u0e22\u0e21 \u0e2d\u0e47\u0e2d\u0e01\u0e44\u0e0b\u0e14\u0e4c (cerium oxide) \u0e41\u0e1a\u0e1a self-activated \u0e17\u0e31\u0e49\u0e07\u0e19\u0e35\u0e49 \u0e40\u0e21\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e21\u0e35\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e19\u0e31\u0e49\u0e19 \u0e2a\u0e32\u0e23\u0e40\u0e2b\u0e25\u0e27\u0e14\u0e31\u0e07\u0e01\u0e25\u0e48\u0e32\u0e27\u0e08\u0e30\u0e17\u0e33\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e0a\u0e31\u0e49\u0e19\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19 \u0e2d\u0e47\u0e2d\u0e01\u0e44\u0e0b\u0e14\u0e4c\u0e17\u0e35\u0e48\u0e44\u0e21\u0e48\u0e08\u0e33\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e1a\u0e19\u0e41\u0e1c\u0e48\u0e19\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c \u0e16\u0e39\u0e01\u0e02\u0e31\u0e14\u0e2d\u0e2d\u0e01\u0e44\u0e1b\u0e43\u0e19\u0e2d\u0e31\u0e15\u0e23\u0e32\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2a\u0e39\u0e07 \u0e42\u0e14\u0e22\u0e21\u0e35\u0e23\u0e2d\u0e22\u0e02\u0e35\u0e14\u0e02\u0e48\u0e27\u0e19\u0e19\u0e49\u0e2d\u0e22\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2a\u0e38\u0e14\u0e43\u0e19\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23 CMP CMP \u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e02\u0e31\u0e14\u0e16\u0e39\u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e17\u0e33\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e1c\u0e34\u0e27\u0e2b\u0e19\u0e49\u0e32\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e41\u0e1c\u0e48\u0e19\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e21\u0e35\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e40\u0e23\u0e35\u0e22\u0e1a (\u0e0a\u0e31\u0e49\u0e19\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19 \u0e2d\u0e47\u0e2d\u0e01\u0e44\u0e0b\u0e14\u0e4c, \u0e1f\u0e34\u0e25\u0e4c\u0e21\u0e09\u0e19\u0e27\u0e19\u0e23\u0e30\u0e2b\u0e27\u0e48\u0e32\u0e07\u0e0a\u0e31\u0e49\u0e19, \u0e0a\u0e31\u0e49\u0e19\u0e25\u0e27\u0e14\u0e42\u0e25\u0e2b\u0e30 \u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e15\u0e49\u0e19) \u0e0b\u0e36\u0e48\u0e07\u0e40\u0e01\u0e34\u0e14\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19\u0e43\u0e19\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e41\u0e22\u0e01\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e2b\u0e23\u0e37\u0e2d\u0e01\u0e32\u0e23\u0e27\u0e32\u0e07\u0e25\u0e27\u0e14\u0e42\u0e25\u0e2b\u0e30\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c \u0e2a\u0e32\u0e23\u0e40\u0e2b\u0e25\u0e27 CMP slurry \u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e42\u0e0b\u0e25\u0e39\u0e0a\u0e31\u0e19\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e02\u0e31\u0e14\u0e16\u0e39\u0e0a\u0e19\u0e34\u0e14\u0e2b\u0e19\u0e36\u0e48\u0e07\u0e17\u0e35\u0e48\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e01\u0e31\u0e1a\u0e07\u0e32\u0e19\u0e14\u0e49\u0e32\u0e19\u0e19\u0e35\u0e49 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\u0e41\u0e01\u0e48\u0e0a\u0e34\u0e19-\u0e40\u0e2d\u0e47\u0e17\u0e2a\u0e36 \u0e40\u0e04\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e25","date":"October 5, 2005","format":false,"excerpt":"\u0e0b\u0e32\u0e19 \u0e42\u0e2e\u0e40\u0e0b\u0e48, \u0e41\u0e04\u0e25\u0e34\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e40\u0e19\u0e35\u0e22\u2014(\u0e1a\u0e34\u0e2a\u0e34\u0e40\u0e19\u0e2a \u0e44\u0e27\u0e23\u0e4c)--- \u0e1a\u0e23\u0e34\u0e29\u0e31\u0e17\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19 \u0e40\u0e08\u0e40\u0e19\u0e0b\u0e34\u0e2a \u0e04\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e1b\u0e2d\u0e40\u0e23\u0e0a\u0e31\u0e48\u0e19 (SiGen) \u0e1b\u0e23\u0e30\u0e01\u0e32\u0e28\u0e27\u0e48\u0e32 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Contamination Control \u0e0b\u0e36\u0e48\u0e07\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e01\u0e2d\u0e1a\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22 Texwipe, ALMA \u0e41\u0e25\u0e30 Chemtronics \u0e19\u0e31\u0e1a\u0e15\u0e31\u0e49\u0e07\u0e41\u0e15\u0e48\u0e1b\u0e35\u0e1e.\u0e28. 2525 \u0e23\u0e34\u0e1b\u0e1b\u0e35\u0e22\u0e4c \u0e04\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e1b\u0e2d\u0e40\u0e23\u0e0a\u0e31\u0e48\u0e19 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\u201c\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e0b\u0e31\u0e1a\u0e0b\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e17\u0e35\u0e48\u0e40\u0e1e\u0e34\u0e48\u0e21\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e17\u0e33\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e21\u0e35\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e15\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e42\u0e0b\u0e25\u0e39\u0e0a\u0e31\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e04\u0e27\u0e1a\u0e04\u0e38\u0e21\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e19\u0e40\u0e1b\u0e37\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e17\u0e35\u0e48\u0e21\u0e35\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e2a\u0e34\u0e17\u0e18\u0e34\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e21\u0e32\u0e01\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19\u201d \u0e19\u0e32\u0e22\u0e2a\u0e15\u0e35\u0e1f \u0e0a\u0e34\u0e42\u0e0b\u0e25\u0e4c\u0e21 \u0e1b\u0e23\u0e30\u0e18\u0e32\u0e19\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e1e\u0e2d\u0e25 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\u0e08\u0e30\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e41\u0e2a\u0e14\u0e07\u0e04\u0e23\u0e31\u0e49\u0e07\u0e25\u0e48\u0e32\u0e2a\u0e38\u0e14\u0e16\u0e36\u0e07\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e1c\u0e39\u0e49\u0e19\u0e33\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e40\u0e23\u0e32 \u0e23\u0e27\u0e21\u0e16\u0e36\u0e07\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16\u0e14\u0e49\u0e32\u0e19\u0e40\u0e17\u0e04\u0e19\u0e34\u0e04\u0e17\u0e35\u0e48\u0e40\u0e2b\u0e19\u0e37\u0e2d\u0e0a\u0e31\u0e49\u0e19\u0e41\u0e25\u0e30\u0e19\u0e27\u0e31\u0e15\u0e01\u0e23\u0e23\u0e21\u0e17\u0e35\u0e48\u0e08\u0e30\u0e0a\u0e48\u0e27\u0e22\u0e25\u0e39\u0e01\u0e04\u0e49\u0e32\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e40\u0e23\u0e32\u0e43\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1a\u0e23\u0e23\u0e25\u0e38\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e15\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23 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